ساخت دستگاه ماسک اَلاینر با دقت 1 میکرون در کشور

[nasirirani 4,493]

[b]پژوهشگران دانشگاه تهران دستگاهی برای تولید قطعات میکرو الکترونیک با دقت یک میکرون و مجهز به 2 لنز تولید کردند که در فرآیند لیتوگرافی صنایع میکروالکترونیک به کار می‌رود و جزء اقلام تحریمی است. [/b]


رضا عسکری مقدم- از محققان این پروژه تحقیقاتی در گفتگو با خبرنگار مهر با بیان اینکه این دستگاه با عنوان "ماسک آی نر" طراحی و عرضه شده است، گفت: این دستگاه برای تطبیق ماسک (نقش) برای فرآیند لیتوگرافی در صنایع میکروالکترونیک و ادوات ممز ( سیستم‌های الکترونیکی و مکانیکی در ابعاد میکرو) استفاده می‌شود.
وی اظهار داشت: زمانی که می‌خواهیم قطعات میکروالکترونیک را تولید کنیم معمولا نیاز به چند لایه ماسک داریم که برای اینکه این لایه‌ها روی یکدیگر در ابعاد میکرو بر هم منطبق شوند نیاز به دستگاه ماسک آی نر داریم که در این پروژه موفق به طراحی این دستگاه شدیم.
عسکری مقدم با اشاره به عملکرد این دستگاه ادامه داد: طرح مورد نظر که نیاز است بر روی ویفرهای قطعات الکترونیکی منتقل شود ابتدا در ابعاد بزرگتر طراحی می‌شود و سپس همان طرح در ابعاد کوچکتر تهیه و توسط این دستگاه روی ویفرها منتقل خواهد شد.
وی با تاکید بر اینکه این دستگاه از بخش‌های اپتیکی، مکانیکی و الکترونیکی ساخته شده است، اضافه کرد: این دستگاه جز فناوری‌های پیشرفته است که به دلیل تحریم‌ها با محدودیت خرید آن مواجه هستیم و در این مطالعات تغییراتی در این دستگاه ایجاد کردیم تا متناسب با نیازهای کشور از آن بهره برداری شود.
این محقق با تاکید بر اینکه این دستگاه استفاده صنعتی دارد، افزود: از آنجایی که صنعت الکترونیک در کشور پیشرفته نیست از این دستگاه در بخش‌های آزمایشگاهی و تحقیقاتی استفاده می‌شود.
وی دقت بالای این دستگاه نسبت به نمونه‌های خارجی در عملیات تبدیل ماسک بر روی ویفرها را از مزایای مهم این دستگاه ذکر کرد و یادآور شد: علاوه بر آن این دستگاه مجهز به لنز (چشم) است و می‌تواند به صورت جداگانه در قسمت‌های مختلف ویفر با هر سایزی را تطبیق دهد.
عضو هیات علمی دانشکده علوم و فنون نوین دانشگاه تهران با تاکید بر اینکه دستگاه ماسک آی نر تولید شده در ابعاد صد در صد نور دارد، توضیح داد: عمل حک نقش بر روی ویفر سیلیکونی فرآیندی دارد که بخش اصلی آن با استفاده از نور در فرکانس‌های ماورا بنفش انجام می‌شود. این نور باید یکنواخت باشد و هر چه سطح انتشار نور بیشتر باشد، نمونه بزرگتری را می‌تواند پوشش دهد که در این دستگاه پوشش صد در صدی دارد.
وی با بیان اینکه نمونه بومی سازی این دستگاه برخی از آپشن‌های نمونه خارجی را ندارد، خاطر نشان کرد: این دستگاه بخش‌هایی چون میز ضد لرزه و فرآیند اتوماتیک بر روی آن اضافه نشده است ولی بر اساس نیاز مشتری این موارد قابل اضافه کردن به دستگاه است.
عسکری مقدم در خصوص دقت این دستگاه در صورت نداشتن میز ضد لرزه یادآور شد: داشتن میز ضد لرزه برخی از مشکلات را در انجام آزمایش‌ها بر طرف می‌کند و کیفیت انجام کار ار ارتقا می‌دهد ولی از آنجایی که این کیفیت خیلی زیاد نیست از این رو بر اساس نیاز مصرف کننده می‌توان این میز را به آن اضافه کرد.
وی دقت سیستم انتقال این دستگاه را یک میکرون دانست و گفت: این دستگاه قابل اتصال به کامپیوتر برای فیلم گرفتن از پروسه تطبیق یا عکسبرداری از نمونه در حین عمل تطبیق نقش بر روی ویفر را دارد.
به گفته این محقق نمونه خارجی این دستگاه 150 هزار دلار است که در این طرح تحقیقاتی ساخته و یک نمونه از آن فروخته شده است.

http://www.mehrnews.com/detail/News/2082900

[mahdavi3d 14,067]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif]"ماسک آی نر" !!؟ [/font][/size][size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif](احتمالا اشتباه خبرگزاری)[/font][/size]
[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif]با مشخصات ذکر شده، دستگاه "ماسک اَلاینر" (Mask Aligner) هست.[/font][/size]
[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif]این دستگاه بسته به کاربرد و دقت مورد نیاز و ابعاد ویفر و...، توسط شرکت های متنوعی در دنیا ساخته می شود. از نمونه های رومیزی ساده بگیر تا نمونه های صنعتی مجزا، با دقت ها و قابلیت های متنوع. [/font][/size][size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif]البته در نهایت هدف یک چیز هست: انطباق درست و دقیق ماسک و ویفر در هر مرحله از نوردهی هر ماسک در فرایند فوتولیتوگرافی.[/font][/size]
[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif]می توانید برخی نمونه ها و تولیدات برخی شرکت ها را در لینک های زیر ببینید و با هم مقایسه نمایید:[/font][/size]
[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://www.classoneequipment.com/equipment/equipment/process-equipment/mask-aligners-bonders"]http://www.classonee...ligners-bonders[/url][/font][/size]
[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://www.evgroup.com/en/products/lithography/mask_aligners/"]http://www.evgroup.c.../mask_aligners/[/url][/font][/size]
[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://www.suss.com/en/products-solutions/products/mask-aligner.html"]http://www.suss.com/...sk-aligner.html[/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif]تعدادی عکس (البته تصویر زیاده، اینها به عنوان چند نمونه)[/font][/size]
[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/2470a_pjpeg.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_2470a_pjpeg.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/3082a.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_3082a.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/MJB4_Total.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_MJB4_Total.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/f6058dfb73.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_f6058dfb73.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/1_MJB-4-Operator.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_1_MJB-4-Operator.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/PH_MA6_Toolshoot2_0505.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_PH_MA6_Toolshoot2_0505.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/3_BA6_Operator.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_3_BA6_Operator.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/MA_BA_6_Gen3_Image2.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_MA_BA_6_Gen3_Image2.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/103320-800x450.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_103320-800x450.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/83616-800x450.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_83616-800x450.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/83622-800x450.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_83622-800x450.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/83628-800x450.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_83628-800x450.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/103302-800x450.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_103302-800x450.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/103314-800x450.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_103314-800x450.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/103305-800x450.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_103305-800x450.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/5a074f5c05.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_5a074f5c05.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/30ecfd2979.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_30ecfd2979.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/Photo_MA2C_exposure_unit__Office_Web_799.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_Photo_MA2C_exposure_unit__Office_Web_799.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/MA200Compact_with_Mask_Library_Office_Web_1204.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_MA200Compact_with_Mask_Library_Office_Web_1204.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/Photo_MA300_Exposure_Unit_Office_Web_809.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_Photo_MA300_Exposure_Unit_Office_Web_809.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/8aaf75528d.jpg"][img]http://gallery.military.ir/albums/userpics/10198/thumb_8aaf75528d.jpg[/img][/url][/font][/size]

[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif]و دستگاهی که دوستان زحمت کشیده اند و دقت 1 میکرون، در نوع و رنج خودش کار خوبی هست، به عنوان نمونه در حال حاضر دستگاه الاینری که داخل سایت لایه نازک دانشگاه تهران ذکر شده، برای اندازه 5 سانتی متر، دقت 2 میکرون دارد.[/font][/size]
[size=3][font=tahoma,geneva,sans-serif][url="http://www.tfl.ir/index.php?option=com_content&view=article&id=70&Itemid=127"]http://www.tfl.ir/in...d=70&Itemid=127[/url][/font][/size] ویرایش شده در تیر 92 توسط mahdavi3d

[Thundar 1,700]

طرح تولید این دستگاه منجر به ایجاد نخستین شرکت تولید کننده تجهیزات لیتوگرافی در خاورمیانه شد ( شرکت فناوری ریز مقیاس اژینه ) که تا الان چندین مدل ماسک الاینر تولید کرده